Эволюция изделий интегральной микроэлектроники неотделима от прогресса в области технологии корпусирования интегральных микросхем, которую еще 10-15 лет тому назад относили к разряду второстепенных, не требующих проведения широкомасштабных научных исследований и базирующихся на использовании возможностей имеющегося парка сборочного оборудования. За этот период решены многие находившиеся в центре внимания существенные проблемы в области микроэлектроники. В данный же момент наблюдается резкое повышение интереса ученых и специалистов серийных производств к технике корпусирования современных изделий интегральной микроэлектроники - больших интегральных схем (БИС) и сверхбольших интегральных микросхем (СБИС), в которой центральное место занимает микромонтаж кристаллов. В книге обобщены результаты теоретических и экспериментальных исследований физико-химических свойств тонких пленок, наносимых на кристаллы, рассмотрены базовые элементы корпусов и выводных рамок БИС, детально оговорены...
Evoljutsija izdelij integralnoj mikroelektroniki neotdelima ot progressa v oblasti tekhnologii korpusirovanija integralnykh mikroskhem, kotoruju esche 10-15 let tomu nazad otnosili k razrjadu vtorostepennykh, ne trebujuschikh provedenija shirokomasshtabnykh nauchnykh issledovanij i bazirujuschikhsja na ispolzovanii vozmozhnostej imejuschegosja parka sborochnogo oborudovanija. Za etot period resheny mnogie nakhodivshiesja v tsentre vnimanija suschestvennye problemy v oblasti mikroelektroniki. V dannyj zhe moment nabljudaetsja rezkoe povyshenie interesa uchenykh i spetsialistov serijnykh proizvodstv k tekhnike korpusirovanija sovremennykh izdelij integralnoj mikroelektroniki - bolshikh integralnykh skhem (BIS) i sverkhbolshikh integralnykh mikroskhem (SBIS), v kotoroj tsentralnoe mesto zanimaet mikromontazh kristallov. V knige obobscheny rezultaty teoreticheskikh i eksperimentalnykh issledovanij fiziko-khimicheskikh svojstv tonkikh plenok, nanosimykh na kristally, rassmotreny bazovye elementy korpusov i vyvodnykh ramok BIS, detalno ogovoreny...
