Рассмотрены принципы формирования анодного оксида алюминия, приведены его основные физико-механические свойства, технологические методы получения пленарных и объемных микроструктур. Выведены обобщенные универсальные формулы взаимодействия активных и реактивных сил в электростатических, электротоковых и др. микроактюаторах. Определены основные закономерности соотношения входных и выходных параметров в процессе полного функционального цикла. Предложена классификация электростатических микроустройств по конструктивному исполнению и приведены соответствующие типовые примеры с расчетным аппаратом. Для инженерно-технических и научных работников различных отраслей промышленности (приборостроительной, радиотехнической и др.), связи, а также для студентов старших курсов, аспирантов и преподавателей радиотехнических специальностей вузов.
Rassmotreny printsipy formirovanija anodnogo oksida aljuminija, privedeny ego osnovnye fiziko-mekhanicheskie svojstva, tekhnologicheskie metody poluchenija plenarnykh i obemnykh mikrostruktur. Vyvedeny obobschennye universalnye formuly vzaimodejstvija aktivnykh i reaktivnykh sil v elektrostaticheskikh, elektrotokovykh i dr. mikroaktjuatorakh. Opredeleny osnovnye zakonomernosti sootnoshenija vkhodnykh i vykhodnykh parametrov v protsesse polnogo funktsionalnogo tsikla. Predlozhena klassifikatsija elektrostaticheskikh mikroustrojstv po konstruktivnomu ispolneniju i privedeny sootvetstvujuschie tipovye primery s raschetnym apparatom. Dlja inzhenerno-tekhnicheskikh i nauchnykh rabotnikov razlichnykh otraslej promyshlennosti (priborostroitelnoj, radiotekhnicheskoj i dr.), svjazi, a takzhe dlja studentov starshikh kursov, aspirantov i prepodavatelej radiotekhnicheskikh spetsialnostej vuzov.
