Химические технологии в производстве микроэлектромеханических систем. Учебное пособие для вузов, , стер.

• Автор(ы): Родионов Ю. А.
• Язык: Русский
• Издатель: Лань, Планета музыки
• Год выхода: 2022
• Оформление: Твердый переплет
• Количество страниц: 220
• ISBN: 978-5-8114-9566-5

Рассмотрены основные положения общей и физической химии в технологических процессах интегральных микросхем и микро-электромеханических систем. Основное внимание уделено химическим процессам в серийном производстве микро-наноэлементов, материалам и оборудованию, обеспечивающего данные процессы. Приводятся конкретные технологические процессы химической подготовки и обработки технологических слоёв и их особенности в серийном производстве.Учебное пособие предназначено для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям подготовки бакалавриата и магистратуры "Электроника и наноэлектроника", "Конструирование и технология электронных средств".