Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие

• Автор(ы): Ю. А. Родионов
• Язык: Русский
• Размер: 220/160/25 mm
• Издатель: Инфра-Инженерия
• Год выхода: 2019
• Оформление: Твердый переплет
• Количество страниц: 352
• ISBN: 978-5-9729-0337-5

Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.