Технология микроэлектронных устройств

• Автор(ы): З. Ю. Готра
• Язык: Русский
• Размер: 215/145/10 mm
• Издатель: Радио и связь
• Год выхода: 1991
• Оформление: Мягкая обложка
• Количество страниц: 528
• ISBN: 978-5-256-00699-0

Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств.