В учебнике рассмотрены общие и специальные вопросы проектирования элементов и устройств технологических систем электронной техники - вакуумных систем оборудования тонкопленочной технологии, вакуумных устройств с бесконтактным магнитным взаимодействием, магнитных и электромагнитных систем вакуумного технологического оборудования, l-координатных исполнительных устройств, устройств на основе волнового движения и вводов движения в вакуум, опорных узлов, различных передаточных механизмов, трибосопряжений с модифицирующими полимерными покрытиями, электростатических крепежных устройств, а также вопросы расчета функциональных систем вакуумного оборудования на привносимый уровень загрязнений, газовыделения и др. Соответствует актуальным требованиям Федерального государственного образовательного стандарта высшего образования. Учебник рассчитан на широкий круг студенческой аудитории, занимающейся изучением оборудования электронной техники, может быть использован...
V uchebnike rassmotreny obschie i spetsialnye voprosy proektirovanija elementov i ustrojstv tekhnologicheskikh sistem elektronnoj tekhniki - vakuumnykh sistem oborudovanija tonkoplenochnoj tekhnologii, vakuumnykh ustrojstv s beskontaktnym magnitnym vzaimodejstviem, magnitnykh i elektromagnitnykh sistem vakuumnogo tekhnologicheskogo oborudovanija, l-koordinatnykh ispolnitelnykh ustrojstv, ustrojstv na osnove volnovogo dvizhenija i vvodov dvizhenija v vakuum, opornykh uzlov, razlichnykh peredatochnykh mekhanizmov, tribosoprjazhenij s modifitsirujuschimi polimernymi pokrytijami, elektrostaticheskikh krepezhnykh ustrojstv, a takzhe voprosy rascheta funktsionalnykh sistem vakuumnogo oborudovanija na privnosimyj uroven zagrjaznenij, gazovydelenija i dr. Sootvetstvuet aktualnym trebovanijam Federalnogo gosudarstvennogo obrazovatelnogo standarta vysshego obrazovanija. Uchebnik rasschitan na shirokij krug studencheskoj auditorii, zanimajuschejsja izucheniem oborudovanija elektronnoj tekhniki, mozhet byt ispolzovan...
