В учебнике рассмотрены свойства газов при низких давлениях и физико-химические процессы на поверхности твердого тела, течение газов при низких давлениях, методы объемной, ионной и сорбционной откачки, принципы действия различных типов вакуумных насосов, измерение общих и парциальных давлений, течеискание, типовые вакуумные схемы, расчет и проектирование вакуумных систем, конструкции элементов. Для студентов вузов, обучающихся по направлениям подготовки дипломированных специалистов, бакалавров и магистров "Электроника и микроэлектроника". Учебник может быть полезен студентам, обучающимся по направлению подготовки дипломированных специалистов "Гидравлическая, вакуумная и компрессорная техника" и другим направлениям.
V uchebnike rassmotreny svojstva gazov pri nizkikh davlenijakh i fiziko-khimicheskie protsessy na poverkhnosti tverdogo tela, techenie gazov pri nizkikh davlenijakh, metody obemnoj, ionnoj i sorbtsionnoj otkachki, printsipy dejstvija razlichnykh tipov vakuumnykh nasosov, izmerenie obschikh i partsialnykh davlenij, techeiskanie, tipovye vakuumnye skhemy, raschet i proektirovanie vakuumnykh sistem, konstruktsii elementov. Dlja studentov vuzov, obuchajuschikhsja po napravlenijam podgotovki diplomirovannykh spetsialistov, bakalavrov i magistrov "Elektronika i mikroelektronika". Uchebnik mozhet byt polezen studentam, obuchajuschimsja po napravleniju podgotovki diplomirovannykh spetsialistov "Gidravlicheskaja, vakuumnaja i kompressornaja tekhnika" i drugim napravlenijam.
