Tekhnologija materialov mikro-, opto- i nanoelektroniki. Chast 2

Технология материалов микро-, опто- и наноэлектроники. Часть 2

• Tekijä(t): Silibin M. V., Roschin Valerij
• Kieli: Venäjä
• Mitat: 220/150 mm
• Kustantaja: BINOM
• Ilmestymisvuosi: 2010
• Sidosasu: Pehmeä kansi
• Sivumäärä: 184
• ISBN: 978-5-94774-910-6

Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.