Изложены основы электрохимических процессов, применяемых в технологии микро- и наноструктур, которые интенсивно развиваются в последнее время. Учебное пособие содержит краткие сведения о законах и положениях теории электродного равновесия и электрохимической кинетики, описание механизмов формирования твердотельных микро- и наноструктур, сведения об особенностях получения и применения пористого кремния, описание электрохимических процессов в технологии МЭМС, процессов формирования барьерных и пористых анодных оксидов и их применения в микро- и нанотехнологии, процессов анодного окисления с помощью сканирующего зондового микроскопа, катодного осаждения металлов и полупроводников, их применения в технологии УБИС, МЭМС и нанотехнологии. Для студентов, обучающихся по инженерно-техническим направлениям и специальностям, а также для аспирантов, научных работников и инженеров.
Izlozheny osnovy elektrokhimicheskikh protsessov, primenjaemykh v tekhnologii mikro- i nanostruktur, kotorye intensivno razvivajutsja v poslednee vremja. Uchebnoe posobie soderzhit kratkie svedenija o zakonakh i polozhenijakh teorii elektrodnogo ravnovesija i elektrokhimicheskoj kinetiki, opisanie mekhanizmov formirovanija tverdotelnykh mikro- i nanostruktur, svedenija ob osobennostjakh poluchenija i primenenija poristogo kremnija, opisanie elektrokhimicheskikh protsessov v tekhnologii MEMS, protsessov formirovanija barernykh i poristykh anodnykh oksidov i ikh primenenija v mikro- i nanotekhnologii, protsessov anodnogo okislenija s pomoschju skanirujuschego zondovogo mikroskopa, katodnogo osazhdenija metallov i poluprovodnikov, ikh primenenija v tekhnologii UBIS, MEMS i nanotekhnologii. Dlja studentov, obuchajuschikhsja po inzhenerno-tekhnicheskim napravlenijam i spetsialnostjam, a takzhe dlja aspirantov, nauchnykh rabotnikov i inzhenerov.
