Словарь содержит около 10 тыс. терминов по основным разделам: конструкция и технология тонко- и толстопленочных микросхем и полупроводниковых интегральных схем, технологические процессы и оборудование для микроэлектроники, испытание и контроль полупроводниковых приборов и др. В конце словаря даны указатели русских, немецких, французских и нидерландских терминов. Словарь предназначен для переводчиков, инженерно-технических работников, студентов, аспирантов и преподавателей.
Slovar soderzhit okolo 10 tys. terminov po osnovnym razdelam: konstruktsija i tekhnologija tonko- i tolstoplenochnykh mikroskhem i poluprovodnikovykh integralnykh skhem, tekhnologicheskie protsessy i oborudovanie dlja mikroelektroniki, ispytanie i kontrol poluprovodnikovykh priborov i dr. V kontse slovarja dany ukazateli russkikh, nemetskikh, frantsuzskikh i niderlandskikh terminov. Slovar prednaznachen dlja perevodchikov, inzhenerno-tekhnicheskikh rabotnikov, studentov, aspirantov i prepodavatelej.