1. Books
  2. Textbooks
  3. Textbooks and Teaching Material for colleges and Universities
  4. Tekhnologicheskie protsessy v mikro- i nanoelektronike. Uchebnoe posobie

Tekhnologicheskie protsessy v mikro- i nanoelektronike. Uchebnoe posobie

Технологические процессы в микро- и наноэлектронике. Учебное пособие
Tekhnologicheskie protsessy v mikro- i nanoelektronike. Uchebnoe posobie
Author(s)
Language
Measurements
220/160/25 mm
Publisher
Publication year
Format
Pages
352
ISBN
978-5-9729-0337-5
 
Sold out (not kept in inventory any longer)
Notify when available Add to favourites
Рассмотрены основные положения физики твёрдого тела и физической химии полупроводников. Основное внимание уделено технологии, соответствующему оборудованию и оснастке, используемым для получения технологического слоя. Приводятся конкретные примеры решения обратных задач по определению технологических режимов получения слоёв с заданными параметрами. Освещены регламентные работы в промышленном производстве. Рассмотрены основные экологические проблемы в промышленных технологиях. Для студентов, обучающихся по специальности 11.00.00 "Электроника, радиотехника и системы связи", а также инженеров, занятых проектированием и обслуживанием электронных приборов.
Rassmotreny osnovnye polozhenija fiziki tvjordogo tela i fizicheskoj khimii poluprovodnikov. Osnovnoe vnimanie udeleno tekhnologii, sootvetstvujuschemu oborudovaniju i osnastke, ispolzuemym dlja poluchenija tekhnologicheskogo sloja. Privodjatsja konkretnye primery reshenija obratnykh zadach po opredeleniju tekhnologicheskikh rezhimov poluchenija slojov s zadannymi parametrami. Osvescheny reglamentnye raboty v promyshlennom proizvodstve. Rassmotreny osnovnye ekologicheskie problemy v promyshlennykh tekhnologijakh. Dlja studentov, obuchajuschikhsja po spetsialnosti 11.00.00 "Elektronika, radiotekhnika i sistemy svjazi", a takzhe inzhenerov, zanjatykh proektirovaniem i obsluzhivaniem elektronnykh priborov.
EAN
9785972903375
BIC category:
YQ
More like this
  • Ju. A. Rodionov
    Publication year: 2020
    Hardcover
    43.00 €
    39.09 € w/o VAT
  • Zubarev Ju. M.
    Publication year: 2022
    Hardcover
    58.00 €
    52.73 € w/o VAT
  • Zubarev Ju. M.
    Publication year: 2022
    Hardcover
    61.00 €
    55.45 € w/o VAT
  • Bezjazychnyj V.
    Publication year: 2016
    Hardcover
    68.00 €
    61.82 € w/o VAT
  • Eremeev Sergej Vasilevich
    Publication year: 2022
    Paperback
    28.00 €
    25.45 € w/o VAT
  • Samojlova L. N.
    Publication year: 2021
    Hardcover
    31.00 €
    28.18 € w/o VAT
  • Pod obsch.red. Muraveva A.A.
    Publication year: 2020
    Paperback
    20.00 €
    18.18 € w/o VAT
  • Zubarev Ju. M.
    Publication year: 2021
    Hardcover
    64.00 €
    58.18 € w/o VAT
  • Pen R. Z.
    Publication year: 2021
    Hardcover
    73.00 €
    66.36 € w/o VAT
  • Ignatov A.
    Publication year: 2022
    Hardcover
    52.00 €
    47.27 € w/o VAT