1. Books
  2. Antiquarian books, Rarebooks
  3. Tekhnologija mikroelektronnykh ustrojstv

Tekhnologija mikroelektronnykh ustrojstv

Технология микроэлектронных устройств
Tekhnologija mikroelektronnykh ustrojstv
Author(s)
Language
Measurements
215/145/10 mm
Publisher
Publication year
Format
Pages
528
ISBN
978-5-256-00699-0
 
Sold out (not kept in inventory any longer)
Notify when available Add to favourites
Рассмотрены механические, химические, ионные, плазменные, электронно-лучевые и другие методы обработки в технологии микроэлектронных устройств. Обобщены данные по выращиванию монокристаллов, диффузии, эпитаксии, ионной имплантации, технологии тонких пленок, литографии, сборке и герметизации. Значительное внимание уделено контролю, обеспечению качества и надежности при изготовлении микроэлектронных устройств.
Rassmotreny mekhanicheskie, khimicheskie, ionnye, plazmennye, elektronno-luchevye i drugie metody obrabotki v tekhnologii mikroelektronnykh ustrojstv. Obobscheny dannye po vyraschivaniju monokristallov, diffuzii, epitaksii, ionnoj implantatsii, tekhnologii tonkikh plenok, litografii, sborke i germetizatsii. Znachitelnoe vnimanie udeleno kontrolju, obespecheniju kachestva i nadezhnosti pri izgotovlenii mikroelektronnykh ustrojstv.
Series
EAN
9785256006990
BIC category:
More like this
  • Ivanov Sergej Ivanovich
    Publication year: 2005
    Hardcover with paper sleeve
    160.00 € 112.00 €
    101.82 € w/o VAT