Учебное пособие посвящено технологии получения основных компонентов микро-, опто- и наноэлектроники: металлов, легирующих элементов, диэлектрических материалов, углеродных материалов, металлоорганических соединений и вспомогательных материалов. Для студентов, обучающихся по направлению "Электроника и микроэлектроника". Полезно также специалистам, работающим в соответствующей области.
Uchebnoe posobie posvjascheno tekhnologii poluchenija osnovnykh komponentov mikro-, opto- i nanoelektroniki: metallov, legirujuschikh elementov, dielektricheskikh materialov, uglerodnykh materialov, metalloorganicheskikh soedinenij i vspomogatelnykh materialov. Dlja studentov, obuchajuschikhsja po napravleniju "Elektronika i mikroelektronika". Polezno takzhe spetsialistam, rabotajuschim v sootvetstvujuschej oblasti.
